ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПАССИВНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ОПТОЭЛЕКТРОННЫХ СВЧ ПЛАТ С ВОЗДУШНЫМИ МОСТОВЫМИ СОЕДИНЕНИЯМИ
Секция: AMPL-SCHOOL (SESSION Y)
Авторы:
1.
Институт оптики атмосферы СО РАН
2.
Институт оптики атмосферы им. В. Е. Зуева СО РАН
Томск, Томская область, Россия
Томск, Томская область, Россия
3.
Институт оптики атмосферы им. В.Е. Зуева СО РАН
Тип:
Статья конференции
Страницы:
с 148
по 150
Опубликовано:
13.09.2025
Классификаторы:
ВАК 1.3.6 Оптика
УДК 621.396 Аппаратура и методы радиосвязи
ГРНТИ 29.31 Оптика
ОКСО 03.04.02 Физика
ББК 223 Физика
ТБК 6135 Оптика
BISAC TEC019000 Lasers & Photonics
УДК 621.396 Аппаратура и методы радиосвязи
ГРНТИ 29.31 Оптика
ОКСО 03.04.02 Физика
ББК 223 Физика
ТБК 6135 Оптика
BISAC TEC019000 Lasers & Photonics
Язык материала:
русский
Ключевые слова:
гибридные интегральные схемы, оптоэлектронные платы, воздушные мостовые соединения, радиолокационные системы
Финансирование:
Работа выполнена в рамках государственного задания Института оптики атмосферы им. В.Е. Зуева Сибирского отделения Российской академии наук (ИОА СО РАН).
Аннотация (русский):
В стандартной технологии оптоэлектронных плат в цепях фильтрации и разделения сигналов широко применяются дискретные кремниевые или керамические конденсаторы, применение которых сопровождается необходимостью монтажа проволочных перемычек методами сварки, что приводит к несогласованности с волновым сопротивлением микрополосковых линий ввиду нарушения планарности конструкции и частичного отражения СВЧ сигнала. С целью устранения указанных недостатков в лаборатории радиофотоники ИОА СО РАН предложена технология изготовления пассивной части оптоэлектронных плат с тонкоплёночными конденсаторами и воздушными мостовыми соединениями, изготовленными по планарной технологии на единой подложке в одном технологическом цикле с применением стандартных высокоэффективных методов магнетронного напыления и гальванического осаждения.
В стандартной технологии оптоэлектронных плат в цепях фильтрации и разделения сигналов широко применяются дискретные кремниевые или керамические конденсаторы, применение которых сопровождается необходимостью монтажа проволочных перемычек методами сварки, что приводит к несогласованности с волновым сопротивлением микрополосковых линий ввиду нарушения планарности конструкции и частичного отражения СВЧ сигнала. С целью устранения указанных недостатков в лаборатории радиофотоники ИОА СО РАН предложена технология изготовления пассивной части оптоэлектронных плат с тонкоплёночными конденсаторами и воздушными мостовыми соединениями, изготовленными по планарной технологии на единой подложке в одном технологическом цикле с применением стандартных высокоэффективных методов магнетронного напыления и гальванического осаждения.
Ключевые слова:
гибридные интегральные схемы, оптоэлектронные платы, воздушные мостовые соединения, радиолокационные системы
гибридные интегральные схемы, оптоэлектронные платы, воздушные мостовые соединения, радиолокационные системы
1. Хохлун А., Бейль В. Некоторые особенности технологии производства современных многокристальных микросборок и «систем в корпусе» типа МКМ-К. // Технологии в электронной промышленности, 2011, №4.
2. Способ изготовления воздушных мостиков в качестве межэлектродных соединений интегральных схем // Патент России № 2685082. 2019. Бюл. № 11. / Тарасов Михаил Александрович, Чекушкин Артем Михайлович, Юсупов Ренат Альбертович
