TY CONF TI Технология изготовления пассивных элементов оптоэлектронных СВЧ плат с воздушными мостовыми соединениями KW гибридные интегральные схемы KW оптоэлектронные платы KW воздушные мостовые соединения KW радиолокационные системы JO XVII International conference on pulsed lasers and laser applications – AMPL-2025 AU Бабошко, Д.В. AU Шестериков, Е.В. AU Удалов, А.А. PY 2025 PB Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт оптики атмосферы имени В.Е. Зуева Сибирского отделения Российской академии наук