TY  CONF
TI  Технология заращивания металлом сквозных отверстий в керамических микрополосковых платах c помощью электрохимического осаждения
KW  сквозные заполненные металлизированные отверстия
KW  гибридные интегральные схемы
KW  электрохимическое осаждение
KW  микрополосковые платы
KW  фоторезистивная маска.
JO  XVII International conference on pulsed lasers and laser applications – AMPL-2025
AU  Удалов, А.А.
AU  Бабошко, Д.В.
AU  Шестериков, Е.В.
PY  2025
PB  Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт оптики атмосферы имени В.Е. Зуева Сибирского отделения Российской академии наук